CASES
반도체
국내 유수의 반도체 제조사
적용 분야
수출 향상을 위한 반도체 제조 공정 분석 및 업무 분석
- 반도체 상업은 복잡한 공정 및 설비 구조로 인해 수율 관리의 어려움이 있습니다. 수율을 향상시키기 위하여 공정과 수율 간의 관계를 도출하고 이를 바탕으로 공정을 최적화하는 등 많은 접근방법이 시도되어 왔습니다.
- 분석 방법의 한계로 기존에는 단일 공정과 수율 간의 공정과 수율 간의 관계를 도출하고 이를 바탕으로 공정을 최적화하는 접근 방식을 취해 왔습니다. 전체 공정과 설비에서 나오는 많은 데이터들 간의 관계를 분석하고 의미있는 결과를 이끌어내기 어려웠습니다.
- 공정을 제어하는 엔지니어가 각 공정에서 발생하는 이슈에 대처하는 업무 능력도 수율에 큰 영향을 미치고 있습니다. 각 담당자가 복잡한 공정과 수 많은 설비들에서 발생하는 이슈를 처리하는 작업 내용이 제대로 이루어지고 있는 지, 적절한 처리 방안이 무엇인지를 직접 확인하기 어렵습니다.
적용 방법
공정 프로세스 모델 분석을 통한 수율 향상
- 프로세스 마이닝을 적용하여 반도체 공정을 분석할 경우 전체 공정 프로세스 모델을 도출하고, 불량이 발생하는 공정 프로세스 패턴이나 수율이 높은 공정과 설비의 패턴을 찾을 수 있습니다.
- 기존의 통계적 분석 방식에서 벗어나 프로세스 모델 및 패턴 분석을 통해 수율에 영향을 미치는 공정과 설비들을 확인하고 최적 공정 프로세스를 도출할 수 있습니다.
생산 공정을 프로세스 모델로 가시화하여 분석 및 개선
- 반도체 생산 공정에 사용되는 생산 설비의 로그 데이터를 분석하여 생산 프로세스 모델을 도출하고 분석할 수 있습니다.
- 생산 프로세스 모델이 표준 프로세스와 비교하여 적합한 지 판단하고 이슈를 파알할 수 있습니다.
분석 효과
반도체 생산 공정 프로세스 모델 수립 및 각 공정에 적용되는 설비들의 최적 경로 분석